Draft
Technical Specification
ISO/DTS 25138
Surface chemical analysis — Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
Reference number
ISO/DTS 25138
Edition 3
© ISO 2025
Draft Technical Specification
Indisponible en français
Projet
Projet au stade approbation.
Remplacera ISO/TS 25138:2019

Résumé

This document describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.

This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn, Zr and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Stade
    : Epreuve envoyée au secrétariat ou mise au vote du FDIS: 8 semaines [50.20]
  • Edition
     : 3
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 8
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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