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Résumé

This document specifies the substrate conditions and testing of the modulation period (including the principles for low-angle X-ray methods, the requirements of the coatings, the requirements for X-ray measuring apparatus, the calibration of apparatus and samples, and the testing conditions and calculation process) of nano-multilayer coatings by low-angle X-ray methods including X-ray reflectivity (XRR) and glancing incident X-ray diffraction (GIXRD).

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Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2022-07
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107/SC 9
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS mises à jour

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9
Industrie, innovation et infrastructure

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