Reference number
ISO/TS 22933:2022
© ISO 2024
Technical Specification
ISO/TS 22933:2022
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
Edition 1
2022-04
Technical Specification
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Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2022)

ISO/TS 22933:2022

Langue
Format
CHF 96
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Résumé

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2022-04
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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9
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