Résumé
This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2022-04Stade: Norme internationale publiée [60.60]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 6ICS :71.040.40
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