Reference number
ISO 20341:2003
© ISO 2025
International Standard
ISO 20341:2003
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
Edition 1
2003-07
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2003)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2019. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 20341:2003

Langue
Format
CHF 43
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Résumé

ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials.

It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2003-07
    Stade
    : Clôture de l'examen [90.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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