Resumen
ISO 11952:2014 specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intended for general industry use, where a lower level of calibration might be required.
Informaciones generales
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Estado: RetiradaFecha de publicación: 2014-05Etapa: Retirada de la Norma Internacional [95.99]
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Edición: 1Número de páginas: 58
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Comité Técnico :ISO/TC 201/SC 9ICS :71.040.40
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PublicadoISO 11952:2019
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